산화 공정을 수행 할 수있는 확산 용광로는 용광로 프레임, 히터, 가열 제어 장치, 온도 측정 장치, 석영 용광로 튜브, 푸시 풀 캐리어 트레이, 일부 가스 경로 및 배기 가스 처리 장치로 구성됩니다. 이러한 종류의 확산 용광로의 온도 제어 요구 사항은 다음과 같습니다.

가열 온도 범위	주변 -1100 학위	제어 정확도	± 2도
최대 가열 속도	15도 /분	온도 균일 성	± 0. 5도 /760mm
최대 냉각 속도	5도 /분	안정	± 0. 5도 /24h

산화 확산 용광로는 일반적으로 용광로 내부와 외부의 열전대를 사용하여 온도를 동적으로 제어합니다. 각 온도 구역에는 온도 제어의 신뢰성을 보장하기 위해 내부 및 외부 열전대가 장착되어 있습니다. S 유형의 반도체 열전대 (일반적인 실무는 온도 정보를 잡기 위해 3-9 다른 지점을 갖는 다중 점 열전대를 사용합니다)는 종종 실리콘 웨이퍼의 온도를 직접 감지하는 데 사용되는 내부 열전대로 선택되며, 정확한 웨이퍼 온도 디스플레이로 번역 할 수 있습니다.

제품 설명

Duchin Instrument는 멀티 포인트 열전대, 다중 점 열전대 교정 장비, 실험을위한 멀티 포인트 열전대 교정 장비, 콜드 접합 구조 포뮬레이 포인트 열전대, 멀티 포인트 열전대를위한 터미널 포장 구조의 유형, 산화 용지 용 온도를위한 복합 금속 보호 튜브의 유형 및 기타 요건에 대한 요건을 충족시킵니다. 감지. S 형 반도체 열전대의 기술 매개 변수는 광전지 장비를 위해 특수한 것입니다.

기술 매개 변수	내부 열전대
유형	S,R
와이어 또는 MIMS 직경	φ0.35~0.5
작업 온도 (학위)	0~1100
정확도 (학위)	±1.0
보호 튜브 길이 (MM)	4000보다 작거나 동일합니다
보호 튜브 직경 (MM)	φ12~18
보호 튜브 재료	석영
핫 엔드 구조	노출된
포인트 수	3 ~ 6 점
종료	작은 커넥터
보상 와이어	sc {{0}} × 0.5fpf
구조 특성	각 점마다 T/C를 조합하는 것은 매우 어렵습니다.