1. 핵심 제품 포지셔닝

우리의프로파일 열전대는 반도체 및 광전지 산업을 위해 특별히 개발된 전문적인 다점 온도 센서입니다.{0}} 고온로(확산로, 산화로, 어닐링로) 내부에 직접 설치되어-실리콘 웨이퍼의 실시간 온도 분포를 정확하게 측정하고 공정 제어 및 품질 보증을 위한 신뢰할 수 있는 열 프로파일 데이터를 제공합니다.

2. 주요 제품 장점

✅ 고정밀-열 프로필 모니터링3~9개 다-점 온도 측정을 지원하여 전체 용광로 영역에 정확한 온도 데이터를 제공하여 사각지대를 제거하고 실리콘 웨이퍼의 균일한 가열을 보장합니다.

✅ 뛰어난 안정성과 내구성열에 안정한 고급-재료-로 제작된 이 제품은 탁월한 선형성, 최소한의 측정 오류, 열충격 및 전자기 간섭에 대한 강력한 저항성을 제공하여 긴-주기 생산 요구 사항을 충족합니다.

✅ 깔끔하고 공정한-친절한 디자인반도체 용광로의 깨끗하고 높은{0}}온도, 낮은-오염 환경에 최적화되어 입자 오염을 방지하고 웨이퍼 제조 공정에 미치는 악영향을 방지합니다.

✅ 가열로 호환성을 위해 고도로 맞춤화 가능다양한 가열로 모델의 공간 레이아웃 및 기술 사양과 완벽하게 일치하도록 프로브 길이, 직경, 피복 재료 및 설치 방법을 사용자 정의할 수 있습니다.

3. 기술 사양표

기술적인 성과	확산로 프로필 열전대	산화로 프로필 열전대
졸업유형	S, R	K, N
와이어/외피 직경	Φ0.35~0.5mm	Ø2~4mm
작동 온도 범위	0~1100도	0~950도
온도 정확도	±1.0도	±1.5도 또는 0.4% t
칼집 길이	4000mm 이하	4000mm 이하
외장 직경	Ø12~18mm	Ø14~22mm
외장재	석영	310S / 321 스테인레스 스틸
측정 끝 구조	노출된 팁	절연 팁
측정점 수	3~6점	3~9점
연결 유형	소형 커넥터	소형 커넥터
보상케이블	SC-2x0.5FPF	KX(NX)-2x0.5FPF
조립 피처	다중 지점 조립이 복잡함	다중-점 열전대는 자유롭게 결합 가능